腔體大小: 3,000 x 2,500 x 2000mm。 工作距離: X = 1625 mm , Y = 475 mm , Z = 600 mm , Rotation= 360 ° , Tilt= -5° to -95° 能量 : 15 kW 電壓 : 150kV 多軸CNC控制 真空度 < 7 x 10-4 mbar .